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各國潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度級(jí)別表 包含了國內(nèi)外各種標(biāo)準(zhǔn),本文主要介紹一下ISO14644-1（國際標(biāo)準(zhǔn)）、各國潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表、各國潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表、潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)供大家參考。 潔凈室（區(qū)）空氣潔凈級(jí)別表 潔凈度級(jí)別 塵粒最大允許數(shù)/立方米 ≥0.5μm塵粒數(shù) ≥5μm塵粒數(shù) 微生物最大允許數(shù) 浮游菌/立方米 沉降菌/皿 100級(jí) 3,500 0 5 1 10,000級(jí) 350，000 2，000 100 3 100，000級(jí) 3，500，000 20，000 5…

晶圓潔凈廠房?jī)艋照{(diào)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則 名詞解釋： 1、晶圓 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999%。 1、晶圓潔凈廠房 潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除…